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7nm 高端 DUV 光刻機仍可出口!ASML:年底前全力向中國客戶交付訂單

時間:2023-09-01 07:22:54 來源: 驅(qū)動之家



【資料圖】

快科技 9 月 1 日消息,ASML 方面已經(jīng)表示,將在年底前向中國客戶交付部分先進芯片制造裝備。

據(jù)美國媒體報道稱,ASML 已經(jīng)獲得荷蘭官方的允許,在今年年底前向中國客戶出口其部分先進工具。

按照 ASML 的說法,在 2023 年的剩余時間里,ASML 將能繼續(xù)出貨其 NXT:2000i 和更先進的 DUV 型號的產(chǎn)品,這些產(chǎn)品從 9 月 1 日起就受到限制。

至于 2024 年是不是可以繼續(xù),ASML 則表示暫時不能確定。

據(jù) ASML 官網(wǎng)提供的信息,該公司目前在售的主流浸沒式 DUV 光刻機產(chǎn)品共有三款,分別是:TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

ASML 官網(wǎng)上關(guān)于這一臺 TWINSCAN NXT:1980Di 的介紹,其中在分辨率方面,寫到是大于等于 38nm(可以支持到 7nm 左右),而這是指一次曝光的分辨率,事實上光刻機是可以進行多次曝光的。

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